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近代欧洲的自然神论思潮首先是在英国发展起来的。英国思想家L.赫尔伯特爵士(1583~1648)被认为是自然神论的创始者。17世纪末至18世纪,以自然神论形式出现的唯物主义思想在英国得到很大的发展。其主要代表人物是J.托兰德。D.哈特利(1705~1757)、J.普里斯特利(1733~1804)等人继承和发挥了托兰德的自然神论和唯物主义哲学思想。
18世纪法国启蒙思想家伏尔泰、孟德斯鸠和 J.-J.卢梭都是具有一定唯物主义思想或倾向的自然神论者。18世纪德国文艺理论家、文学家G.E.莱辛 (1729~1781),美国科学家B.富兰克林(1706~1790)、政治家T.杰弗逊(1743~1826)等人的哲学思想都属于自然神论的思潮。有的研究者认为客观唯心主义者G.W.莱布尼茨、不可知论者D.休谟和I.康德的思想也接近于自然神论。