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从古代希腊到古代罗马，出现了德谟克利特、伊壁鸠鲁、卢克莱修、琉善等无神论思想家。
中世纪是基督教及其神学体系在上层建筑领域居于绝对统治地位的时代，无神论几乎不可能公开存在。但在一些反正统神学的泛神论中仍不时见到无神论的思想火花。如9世纪的J.S.爱留根纳。12世纪，木内的阿摩利，迪南的戴维。
近代西欧新兴资产阶级的思想家。16～17世纪，泛神论在欧洲有广泛的影响，这是一种从有神论向无神论过渡的形式。如G.布鲁诺、B.斯宾诺莎。17世纪，以机械力学为中心的实验科学与原子唯物论相结合，发展为机械唯物主义的哲学和无神论。如T.霍布斯。17～18世纪在英国兴起了自然神论。这种宗教哲学对欧美产生了广泛影响,如法国的伏尔泰、J.-J.卢梭。
18世纪法国无神论的主要代表有J.O.de拉美特里、D.狄德罗、C.A.爱尔维修、P.-H.D.霍尔巴赫等。
19世纪的德国古典哲学则是理性主义的启蒙无神论。I.康德和G.W.F.黑格尔虽不是无神论者，但他们所代表的德国古典哲学通过对宗教神学的理性考察，曲折地表达了对封建制度的政治批判，具有理性启蒙主义的性质。J.G.费希特强调人的自由与独立性，认为人是自己的主宰，人类是真正的上帝。青年黑格尔派发挥黑格尔唯心辩证法的批判精神，对基督教神学和基督教国家进行了有力批判。
L.费尔巴哈在德国恢复了唯物主义的权威，提出了人本主义无神论，对宗教的本质和起源作了深入具体的研究。
19世纪中叶以后，B.A.W.罗素（英国）、J.杜威、J.-P.萨特。
马克思主义的科学无神论。
