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我国自主研制单个量子化霍尔器件打破进口依赖
来源：科技日报 日期:2016-04-18
量子电阻基准能够满足重大科研课题对电阻精确测量的需求。记者13日从中国计量科学研究院获悉，该院自主研制的单个量子化霍尔器件，结束了我国电阻基准所用标准器件依赖国外进口的现状，为我国航天航空、国防工业以及精密仪器的发展提供了关键技术保障。
课题负责人，中国计量科学研究院李劲劲研究员接受科技日报记者采访时说：“我国虽然已建立国际先进的量子电阻基准，但基准必不可少的核心器件仍依赖进口。这无疑是我们发展的瓶颈。”
为解决这一“卡脖子”问题，李劲劲带领中国计量科学研究院“量子器件”创新团队，在国家科技支撑课题“用于计量的微纳集成器件关键技术研究”的支持下，依托该院微纳加工平台，开展了电阻基准用量子化霍尔器件的研制。经过6年的攻关，成功实现了“单个量子化霍尔器件”“量子化霍尔阵列器件”等多种微纳量子器件和集成器件的自主研制。
“单个量子霍尔器件能够取代国际计量局标准样品，用于我国量子电阻国家基准系统进行电阻量值传递、国际比对等任务。而通过霍尔阵列我们可以获得任意整数阻值的电阻。” 李劲劲说。课题组在国内首次实现了可以产生1 kΩ和10 kΩ整数电阻值的量子化霍尔阵列器件，使我国成为国际上少数掌握该技术的国家之一。
