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荀子对作为传统宗教基石的天神崇拜和天命神学进行针锋相对的批判,把人格化的“天”改造为自然的天，并提出“制天命而用之”的“勘天”思想，公开反对“营巫祝，信禨祥”等世俗迷信。
韩非发展了荀子的无神论,在否定鬼神存在的基础上,进一步反对“神道设教”。
东汉王充在唯物主义自然观基础上批判天人感应的谶纬神学，在唯物主义形神观基础上否定人死为鬼等宗教迷信。他建立了中国古代最为系统完整的无神论体系。
南北朝的范缜深入细致地论证了形神相即、形质神用的唯物主义神灭论，对当时统治集团支持的佛教神不灭论进行了深刻的批判。
宋代的张载，明代的王廷相，清代的王夫之、熊伯龙、王清任等都对宗教迷信展开批判，深化和发展了无神论思想。